高品質な製造環境制御

電子デバイス施設では、微振動やケミカル物質の制御など、品質･歩留まりに直結する高度なクリーン環境が求められます。当社技術研究所のクリーンルームでは材料試験や検証実験を行うこともでき、高品質で経済的な製造環境を提供します。

クリーン環境構築

最先端の半導体工場や電子デバイス工場に最適なクリーン環境を構築します。

最先端の半導体プロセス向けクリ－ンルーム、材料･部材加工に適した経済的なクリーン環境など、お客様の製造プロセス･装置レイアウトにマッチした最適なクリーン施設を提供します。

ケミカル･金属汚染対策

製品の歩留まりに影響するケミカル･金属汚染を確かな実績に基づいた技術で排除します。

お客さまの製造環境に応じて、制御対象物質と濃度レベルを提案し、発生源に応じた合理的な対策を行います。

ケミカルフリークリーンルーム

最先端の半導体･液晶の微細加工プロセスでは、分子レベルのケミカル汚染が歩留まりに影響します。ケミカル汚染は発生源が多岐にわたり、総合的かつ横断的な制御と対策が必要です。

微振動対策

生産歩留まりに影響する振動に対し、様々な防振技術で対応します。

微振動に関する要求性能を確保するため、豊富な実績に基づいた予測手法、対策技術を駆使し、一貫した防振エンジニアリングを行います。

シミュレーション･可視化

気流シミュレーション解析

生産装置発熱を考慮したクリーンルーム内の気流、温度分布、ホコリやガスの拡散状態などのシミュレーション解析を行い、可視化して検討します。

クリーン環境実験施設

竹中技術研究所内のクリーン環境実験施設（可視化クリーンルーム･ドライクリーンルーム･バイオクリーン･バイオセーフティー実験施設）では、様々な条件でクリーン環境の実証実験が可能です。お客様の設備を実際に持ち込み検証し、工場のクリーン環境設計に反映します。

関連施設

世界有数の封じ込め性能を有するバイオクリーンルーム

用途に応じて室圧のコントロールが可能です。設備導入を考えておられる方々に実際に使っていただき建てる際にはどのような配置が良いかなどをご検討いただいています。

ドライルーム

水分を嫌うリチウムイオン二次電池や有機ELパネルの製造プロセスに最適な、ドライクリーンな環境を提供します。

静電気対策