アクティブ微振動装置　TACMI

アクティブ微振動制御装置（TACMI）は、半導体産業に代表される先端産業施設を対象として、除振テーブルに加えられる水平方向と上下方向の微振動を回転運動も含めてアクティブに制御し、超精密加工・検査機器に超微細振動環境を提供する装置です。TACMIは高性能除振テーブル、振動センサ、ディジタルサーボジュール、アクチュエータから構成されます。テーブルの動きと床の動きをキャッチし、振動を打ち消す力を瞬時にテーブルに加えることにより、あたかも空間に静止したような作業環境を創出します。0.5gal、0.5μm程度の微振動から震度3程度の地震まで、入力床面の振動を最高1/100に低減する超微振動環境を提供します。また、TACMIには、大型重量機器用（実績40t）、半導体クリーンルーム用、あらゆる種類の振動に対応する超高性能タイプ、磁気を発生しない磁気シールドタイプなどさまざまなバリエーションがあります。2007年3月現在で400台以上の納入実績があります。

世界初のアクティブ除振機能を持つ磁気シールドルーム。磁気シールドルーム全体を除振台に載せてエアアクチュエータにより微振動を排除します。