地震対策
様々な地震対策技術を紹介します。
小中～大地震に対応できる様々な地震対策技術を駆使し、電子デバイス・半導体施設の機能と安全を守ります。
ビスカス免震®
常時は高いレベルの微振動制御性能を保ちつつ、大地震時の被害を最小化します。発生頻度が高く、操業停止への影響が大きい中小地震にも大きな効果を発揮します。
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超精密生産装置向け部分床免震装置
ステッパー等、微振動に脆弱な生産装置に対応した部分免震システムです。
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居ながらできる免震改修
周辺スペースが工事環境を満たせば、少ない振動で操業しながらの免震改修が可能です。
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居ながらできる耐震補強
騒音と粉塵の発生が少ない方法で、操業しながらの既存施設の耐震補強です。
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ブロードバンド制振®
大地震時の揺れから強風による小さな揺れまで、1つの装置でマルチに制振します。
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INDEX 電子デバイス施設（セキュア ファブ・ワークス）
- 高度な製造環境の実現（歩留まり向上）
- 事業リスクの低減（安心・安全）
- 地球環境への配慮（グリーンファブ）