グリーンファブ
様々なアプローチと豊富な省エネ技術で「グリーンファブ」を実現します。
地球環境配慮・CO2削減技術を効率的に建設計画に反映させると共に、製造施設に対応した環境性能評価を行い、サステナブルな工場を構築します。
地球環境配慮・CO2削減技術
環境設計支援、新エネルギー活用、省資源、環境保全、省エネルギーなど、地球環境を守るためのさまざまな対策に取り組んでいます。
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ヒートパイプ冷却パネルシステム
冷媒循環式の冷却パネルにより生産装置からの放熱をカットすることで、空調ファンの搬送動力を低減できます。
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「VCS®」＋FFU空調システム
冷媒自然循環システム（VCS）とファンフィルターユニット（FFU）を組み合わせた省エネルギー型空調システムです。
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CASBEE工場版（製造施設の環境・省エネルギー品質評価ツール）
高機能クリーンルームを備えた電子デバイス工場などの環境品質を、適正に評価できます。
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INDEX 電子デバイス施設（セキュア ファブ・ワークス）
- 高度な製造環境の実現（歩留まり向上）
- 事業リスクの低減（安心・安全）
- 地球環境への配慮（グリーンファブ）