クリーン環境構築
最先端の半導体工場や電子デバイス工場に最適なクリーン環境を構築します。
最先端の半導体プロセス向けクリ－ンルーム、材料・部材加工に適した経済的なクリーン環境など、お客様の製造プロセス・装置レイアウトにマッチした最適なクリーン施設を提供します。
高清浄度・大空間クリーンルーム
半導体の最先端微細加工プロセスに対応した、高清浄度な大空間クリーンルームを提供します。
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ローコスト大規模クリーンルーム
建築構造とシステム天井の合理的な一体化により、大型FPD製造等に最適なクリーン空間を提供します。
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天井レス乱流クリーンルーム
天井裏の空調スペースの省略を図り、デバイス後工程や材料製造に最適なクリーン環境を経済的に提供します。
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ミニエンバイロメント対応
ミニエンバイロメントによる局所クリーン化システムにより高清浄度域を限定し、周辺を低清浄度とすることで、クリーンルームのランニングコストを低減します。
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- 高品質な製造環境制御
- カーボンニュートラルの実現
- 災害リスクの低減
- トータルエンジニアリングサポート