免震・制振
様々な地震対策技術で製造施設の安全を守ります。
精密な電子デバイス・半導体の製造施設では製造プロセスに影響する小中規模地震から大きな被害をもたらす大地震まで対応できる地震対策技術が必要です。様々な免震・制振技術を駆使し、電子デバイス・半導体施設の機能と安全を守ります。
免震・制振エンジニアリング
微振動影響や清浄度確保など、様々な製造施設ニーズや各種条件に応じて最適な免震・制振ソリューションを提供します。
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クリーンルーム用 部屋免震システム
地震後も清浄度・気密性を維持できる、部屋ごとの免震システムです。完成時に検証測定を行います。
 部屋免震システム 断面イメージ 歩行振動計測イメージ |
▸建物内にクリーンルーム等の高機能施設をスピード構築する「BiBoT®」シリーズ
超精密生産装置向け部分床免震装置
ステッパー等、微振動に脆弱な生産装置に対応した部分免震システムです。
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居ながらできる免震改修
騒音や振動が少ない工法で、操業しながらの免震改修が可能です。
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居ながらできる耐震補強
騒音と粉塵の発生が少ない方法で、操業しながらの既存施設の耐震補強です。
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ブロードバンド制振®
大地震時の揺れから強風による小さな揺れまで、1つの装置でマルチに制振します。
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- 高品質な製造環境制御
- カーボンニュートラルの実現
- 災害リスクの低減
- トータルエンジニアリングサポート