超精密環境制御

局所クリーン化されたミニエンバイロメント空間のみ、ナノ粒子やケミカル物質を高度に制御し、空調を省エネ化します。

要求レベルに応じて、温度、クリーン度、ケミカル濃度を高精度に制御できるダクトレス空調ユニットです。

電子ビーム直接描画などの次世代露光プロセスに対応した超精密室温環境（±0.01℃以下）を再熱ヒーターを使わず、冷水冷却のみで実現し、製品の品質を向上、省エネルギーに貢献します。