ケミカル・金属汚染対策
製品の歩留まりに影響するケミカル・金属汚染を確かな実績に基づいた技術で排除します。
お客さまの製造環境に応じて、制御対象物質と濃度レベルを提案し、発生源に応じた合理的な対策を行います。
ケミカルフリークリーンルーム
最先端の半導体・液晶の微細加工プロセスでは、分子レベルのケミカル汚染が歩留まりに影響します。ケミカル汚染は発生源が多岐にわたり、総合的かつ横断的な制御と対策が必要です。
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金属コンタミネーション対策
半導体やリチウムイオン電池、エレクトロケミカル材料の製造ラインでは、生産環境からの金属成分汚染（コンタミネーション）が歩留まり低下や製品不良の原因となります。このような金属コンタミネーションに対して、豊富な実績と高度な分析技術でお客様をサポートします。
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金属材料の使用を減らし、露出部位は塗装･被覆
隣接する空間から汚染物質の流入を防止するため、シーリングで機密性を確保
| ① 天井内隠蔽 | ･･･ | 設備配管・ダクト等の露出を 減らす |
| ② 防塵クロス ［帯電防止］ |
･･･ | 金属材料の使用を減らす （樹脂材料採用） |
| ③ 塗装 | ･･･ | 露出した金属部分は被覆する （塗装） |
| ④ 樹脂材料･接地 | ･･･ | 塵埃が付着・堆積しにくくする （導電性） |
| ⑤ 気密性確保 | ･･･ | 金属の流入を防止する （差圧・気密性確保） |
| ⑥ 垂れ壁 | ･･･ | 最適な気流の制御 （垂れ壁） |
| ⑦ 付着塵の清掃 | ･･･ | 施工時の付着塵埃を残さない （清掃） |
- 高品質な製造環境制御
- カーボンニュートラルの実現
- 災害リスクの低減
- トータルエンジニアリングサポート